郑 州 恒 通 炉 业 有 限 公 司 
ZHENGZHOU HENGTONG FURNACE CO LTD
产品属性

CVD石墨烯生长炉

郑州恒通炉业有限公司
联系方式: 18037791502
官方微博: 恒通炉业有限公司
地址: 河南省郑州市高新技术产业开发区冬青街道26号
产品介绍

CVD石墨烯生长炉专门针对于用在金属箔上生长薄膜物质,如石墨烯、使用时把金属箔附在内管上。其最高工作温度可以达到1200℃,专门针对于用CVD化学气相沉积方法在金属箔上生长薄膜物质,如石墨烯、太阳能电池的电极材料和电池电极材料等。

 

石墨烯生长炉由HTTF1200真空管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成 ,最高温度可以达到1200,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

 

石墨烯生长炉是一种特殊的CVD系统(化学气相沉积系统),是专门为在金属箔(像铜箔、铝箔等)上生长薄膜而设计,广泛应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究上,特别适用于碳纳米管、碳纳米线、石墨烯的生长。

 

HTTF-1200真空管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。

真空管式炉软件控制系统:该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PVSV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。

 

产品名称

石墨烯生长炉(纳米管生长炉)

产品型号

HTTF-1200-CVD

管式炉

加热区长度

440mm

恒温区长度

150 (+/-1 )

工作温度

1100℃(此温度为长期加热温度)

最高温度

1200

炉管尺寸

Φ60×1440mm

等离子射频电源

输出功率

500W    ± 1% . 

射频频率

13.56 MHz    ±0.005% .

反射功率

最大约200W 

阻抗匹配

自动

真空泵机组(双极旋片泵)

真空度

10-3torr

波纹管

KFD25 快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连.

质量流量计

四通道控制

精度0.02% 、数字显示、自动控制、 一个混气罐、底部装有泄废液口

MFC 1范围

0~100 sccm 

MFC 23

0~500 sccm  

进气接口

1/4NPS

出气接口

1/4NPS

水冷系统

水冷法兰要求

水流量 >= 10L/M ,配有专业水冷机组

 

石墨烯生长炉标准配件:

质子混气系统1台、双旋机械泵1台、水冷系统1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、刚玉炉塞2对、高温手套1副、刚玉坩埚2个、说明书1.


CVD石墨烯生长炉专门针对于用在金属箔上生长薄膜物质,如石墨烯、使用时把金属箔附在内管上。其最高工作温度可以达到1200℃,专门针对于用CVD化学气相沉积方法在金属箔上生长薄膜物质,如石墨烯、太阳能电池的电极材料和电池电极材料等。

 

石墨烯生长炉由HTTF1200真空管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成 ,最高温度可以达到1200,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

 

石墨烯生长炉是一种特殊的CVD系统(化学气相沉积系统),是专门为在金属箔(像铜箔、铝箔等)上生长薄膜而设计,广泛应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究上,特别适用于碳纳米管、碳纳米线、石墨烯的生长。

 

HTTF-1200真空管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。

真空管式炉软件控制系统:该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PVSV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。

 

产品名称

石墨烯生长炉(纳米管生长炉)

产品型号

HTTF-1200-CVD

管式炉

加热区长度

440mm

恒温区长度

150 (+/-1 )

工作温度

1100℃(此温度为长期加热温度)

最高温度

1200

炉管尺寸

Φ60×1440mm

等离子射频电源

输出功率

500W    ± 1% . 

射频频率

13.56 MHz    ±0.005% .

反射功率

最大约200W 

阻抗匹配

自动

真空泵机组(双极旋片泵)

真空度

10-3torr

波纹管

KFD25 快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连.

质量流量计

四通道控制

精度0.02% 、数字显示、自动控制、 一个混气罐、底部装有泄废液口

MFC 1范围

0~100 sccm 

MFC 23

0~500 sccm  

进气接口

1/4NPS

出气接口

1/4NPS

水冷系统

水冷法兰要求

水流量 >= 10L/M ,配有专业水冷机组

 

石墨烯生长炉标准配件:

质子混气系统1台、双旋机械泵1台、水冷系统1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、刚玉炉塞2对、高温手套1副、刚玉坩埚2个、说明书1.